技术参数

• 介质：N2

• 额定工作压力：0.5±0.01MPa

• 供电电压：0~150V

• 压电陶瓷电容：5.2±0.1μF

• 流量调节范围：0~10SCCM

• 流量分辨率：0.1SCCM/V

• 理论响应时间：≤20ms

• 质量：18.8g

• 工作温度：-5~+70℃

• 内外漏率：0.15MPa He检≤4×10-7Pa*m3/s

• 工作次数：≥10000

• 单次最长工作时间：≥26h