技术参数
• 介质:N2
• 额定工作压力:0.2±0.01MPa
• 供电电压:0~150V
• 压电陶瓷电容:5.2±0.1μF
• 推力调节范围:0~100μN
• 推力分辨率:2μN/V
• 理论响应时间:≤20ms
• 质量:41.6g
• 工作温度:-5~+70℃
• 内外漏率:0.15MPa He检≤4×10-7Pa*m3/s 11 工作次数 ≥10000
• 单次最长工作时间:≥26h
• 推力器结构设计:一体化结构设计