技术参数

• 介质：氦气(He)、氮气(N2)、氙气、氪气

• 材料相容性要求：与介质接触的零部件材料一级相容

• 工作温度(℃)：-20℃~+65℃

• 供电电压(V)：DC28V±3V

• 供电电压(V)：0~150V

• 工作压力(MPa)：0.5-35MPa(表压)

• 系统重量：383g

• 外漏率：≤8×10-6Pa·m3/s(40MPa,氦检)

• 正向内漏率：≤5×10-6Pa·m3/s(1MPa-40MPa,氦检)

• 阀门驱动功率：≤40W

• 开关响应时间：<60ms